干式螺桿真空泵內(nèi)可能殘留有氣體或雜質(zhì),如水汽、氣體等,會影響泵的抽真空效果。抽氣速率不足,無法及時將氣體排出導(dǎo)致真空度低。
如泵的轉(zhuǎn)速、冷卻水溫度等參數(shù)設(shè)置不當(dāng)會影響干式螺桿真空泵的抽氣效果。內(nèi)部零部件如螺桿、軸承等損壞或磨損會影響泵的正常運行,進而影響真空度。與管路連接處密封不嚴密或有泄漏會導(dǎo)致氣體進入系統(tǒng),影響真空度。
除了干式螺桿真空泵本身的問題,真空系統(tǒng)其他部分如管路、閥門等也可能存在漏氣問題,影響整個系統(tǒng)的真空度。